等離子清洗機(jī)為什么會(huì)產(chǎn)生輝光呢？原因就在于等離子清洗機(jī)在使用過(guò)程中，會(huì)使用不同的氣體進(jìn)行工藝處理。在低氣壓條件下,將一定的電壓加到兩個(gè)平板電極上即可形成輝光放電,是一種穩(wěn)定的自持放電,其放電電流的大小為毫安數(shù)量級(jí)。等離子清洗機(jī)在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體變稀薄，分子之間的間距和分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)的距離也越來(lái)越長(zhǎng)，而后通過(guò)電場(chǎng)作用發(fā)生碰撞而形成等離子體。離子是沒(méi)有方向性及規(guī)則性的，發(fā)生反應(yīng)時(shí)離子不斷抨擊物體的表面使之產(chǎn)生相互碰撞，不同氣體發(fā)出輝光顏色不同，是因?yàn)榘l(fā)生了不同的物理反應(yīng)。利用等離子處理會(huì)發(fā)出輝光，又稱(chēng)之為輝光放電處理。

       輝光放電在兩極電場(chǎng)的作用下，電子和正離子分別向陽(yáng)極、陰極運(yùn)動(dòng)，并在此過(guò)程中堆積在兩極附近形成空間電荷區(qū) 。又因?yàn)檎x子的漂移速度遠(yuǎn)小于電子，所以正離子空間電荷區(qū)的電荷密度比電子空間電荷區(qū)要大得多，讓整個(gè)極間電壓幾乎全部集中在陰極附近的狹窄區(qū)域內(nèi)。這也是輝光放電的顯著特征，而且在輝光正常放電時(shí)，兩極間電壓不會(huì)隨著電流的改變而發(fā)生變化。
       而等離子清洗機(jī)在使用過(guò)程中，會(huì)使用不同的氣體進(jìn)行工藝處理。不同氣體中的能級(jí)均具有不同的能量轉(zhuǎn)換，不同工藝氣體顯示了不同特點(diǎn)的發(fā)光，并因此產(chǎn)生不同特征的顏色。每種氣體電子躍遷時(shí)發(fā)出的光波長(zhǎng)都不一樣，所以也就能夠看到不同顏色的輝光了。當(dāng)然你加(大)功率到一定程度看起來(lái)都是白光，因?yàn)楣庾犹嗔恕５入x子清洗工藝流程中使用的氣體的典型顏色如下所述：CF4：藍(lán)色SF6：淡藍(lán)色SiF4：淺藍(lán)色SiCl4：淺藍(lán)色Cl2：淺綠色CCl4：淺綠色H2：粉紅色O2：淡黃色N2：紅色致黃色Br2：紅色He：紅色致紫色Ne：磚紅色Ar：暗紅色等離子清洗機(jī)產(chǎn)生的輝光顏色不僅可用于識(shí)別工藝氣體，還可以用于定性評(píng)估工藝氣體是否含有污染物。